MICROTECNOLOG­A DIARIO DE UN PROCESO : FABRICACIÓN DE UN MICROACELERÓMETRO

MICROTECNOLOG­A DIARIO DE UN PROCESO : FABRICACIÓN DE UN MICROACELERÓMETRO (Libro en papel)

Editorial:
CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTÍFICAS
Año de edición:
ISBN:
978-84-00-09163-7
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8,32 €
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El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas para fabricar microsistemas basados en silicio. La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar detalladamente el proceso de fabricación de un Microsistema en una Sala Blanca. En la primera parte del libro se hace una introducción teórica a los acelerómetros en general y a los acelerómetros piezorresistivos en particular. En la segunda parte se muestra día a día su proceso de fabricación, en el ´Diario del proceso´. Para una mayor compresión, esta segunda parte se refuerza con un conjunto de videos, en los cuales se muestran las etapas más importantes en el proceso de fabricación de microacelerómetros.